凈化車間又稱潔凈室，它是污染控制的基礎(chǔ)。沒有凈化車間，就不可能批量生產(chǎn)污染敏感零件。那么，凈化車間又分為哪些部分呢？
凈化車間由五部分組成：
1.隔間
凈化車間隔室分為更衣室、千層區(qū)、百層區(qū)三部分。更衣室及千級區(qū)、千級區(qū)、百級區(qū)均設(shè)有空氣淋浴，凈化車間及室外均設(shè)有密碼箱。人員進(jìn)入凈化車間時，必須先通過空氣淋浴室對人體攜帶的粉塵進(jìn)行噴淋，減少人員帶入凈化車間的粉塵。分動箱用于噴霧降塵，達(dá)到降塵的效果。
2.空氣系統(tǒng)流程圖
系統(tǒng)采用新風(fēng)空調(diào)箱+FFU系統(tǒng)
<1> 新風(fēng)空調(diào)箱結(jié)構(gòu)
<2> FFU：（fanfilter unit）指風(fēng)扇和過濾器
在1000級區(qū)域采用高效空氣過濾器，過濾效率為99.997%。在100級過濾區(qū)采用ULPA，過濾效率為99.9995%。
3.水系統(tǒng)流程圖
冰水系統(tǒng)分為一次側(cè)和二次側(cè)
一次側(cè)冰水溫度為7-12度，供給空調(diào)箱和風(fēng)機(jī)盤管；二次側(cè)冰水溫度為12-17度，供給干盤管系統(tǒng)。一次側(cè)冰水和二次側(cè)冰水是兩條不同的回路，通過板式換熱器連接
板式換熱器原理
干盤管：無冷凝盤管，由于凈化車間溫度為22℃，露點溫度約為12℃，7℃的冰水不能直接進(jìn)入凈化車間，因此干盤管冰水溫度為12-14℃
4.控制系統(tǒng)（DDC）溫度：干盤管系統(tǒng)控制
濕度：空調(diào)箱通過感應(yīng)信號控制三通閥的開度，調(diào)節(jié)空調(diào)箱盤管的進(jìn)水量。
正壓：空調(diào)箱調(diào)節(jié)，根據(jù)靜壓感應(yīng)信號，自動調(diào)節(jié)空調(diào)箱電機(jī)變頻器的頻率，從而調(diào)節(jié)進(jìn)入房間的新鮮空氣。
5.其他系統(tǒng)
不僅是空調(diào)系統(tǒng)，還有真空、氣壓、氮氣、純水、廢水、二氧化碳系統(tǒng)、工藝排氣系統(tǒng)
①本試驗的目的是測定單向流凈化車間工作區(qū)的平均氣流流量及其均勻性。
②系統(tǒng)或房間的風(fēng)量檢測。
③室內(nèi)清潔度檢測。潔凈度的檢測是確定潔凈環(huán)境的空氣潔凈度水平，可用粒子計數(shù)器進(jìn)行檢測。
④自凈時間檢測。通過測定自凈時間，找出了恢復(fù)潔凈室原有清潔度的能力。
⑤氣流模式檢測。
⑥噪聲檢測。
⑦照明檢測。照度檢測的目的是確定潔凈室的照度水平和均勻性。
⑧振動檢測。振動檢測的目的是確定凈化車間的振幅。
⑨溫濕度檢測。溫濕度檢測的目的是將溫濕度調(diào)節(jié)到一定限度。其內(nèi)容包括凈化車間送風(fēng)溫度檢測、代表性測點氣溫檢測、凈化車間中心點氣溫檢測、敏感元件空氣度檢測、室內(nèi)空氣相對溫度檢測、溫度檢測回風(fēng)溫度。
⑩總風(fēng)量和新風(fēng)量檢測。
