按照組成潔凈隧道的設(shè)備不同，潔凈隧道可分為以下幾種形式。
(1)臺式潔凈隧道
這種形式的潔凈隧道是將潔凈工作臺相互連接在一起，并取消中間的側(cè)壁，組成生產(chǎn)需要的隧道型生產(chǎn)線。當(dāng)工藝要求垂直層流時，可選用垂直層流工作臺。當(dāng)工藝要求水平層流時，則選用水平層流工作臺。這種凈化方式較全室凈化更易保證局部空間的高潔凈度，并由于工作臺相互連接，可以減少或防止交叉污染。此外，對建筑的要求比較簡單，只要求具備亂流潔凈室的環(huán)境即可。其缺點是潔凈工作臺的尺寸固定，使操作面缺乏足夠的靈活性，工藝設(shè)備必須適應(yīng)工作臺的尺寸，調(diào)整起來也不大方便。
(2)棚式潔凈隧道
這種形式的潔凈隧道是將潔凈棚，即棚式垂直層流單元串聯(lián)在一條生產(chǎn)線上所組成的。根據(jù)工藝要求，潔凈棚的面積可以變化，空氣可以全部為室內(nèi)循環(huán)式，也可連通集中式凈化空調(diào)系統(tǒng)，吸取部分新風(fēng)。棚式潔凈隧道適合于工藝設(shè)備較大的場所。
(3)罩式潔凈隧道
這種形式的潔凈隧道是將層流罩，即罩式垂直層流單元串聯(lián)在一條生產(chǎn)線上所組成的。由于層流罩的進(jìn)深比潔凈棚小，只適用于工藝設(shè)備較小的場所?？諝庋h(huán)方式與棚式潔凈隧道和臺式潔凈隧道相同，是目前采用較多的一種潔凈隧道。
(4)集中送風(fēng)式潔凈隧道
這種形式的潔凈隧道是由集中式送風(fēng)系統(tǒng)的滿布高效過濾器的靜壓箱所組成的。層流工作區(qū)的寬度可依照工藝提出的要求確定，而不像臺式、棚式和罩式潔凈隧道那樣，因局部凈化設(shè)備的尺寸而限制層流工作區(qū)的寬度，設(shè)計可以更為靈活。采用這種形式時，回風(fēng)可以通過技術(shù)夾道，也可像圖這樣，在亂流操作活動區(qū)設(shè)置地溝。此外，工業(yè)管道可布置在工作區(qū)的沿壁板一側(cè)，排風(fēng)管接至地溝。
潔凈隧道的特點如下：
(1)在隧道內(nèi)造成不同的潔凈度，從而充分利用了不同潔凈氣流的特性，最大限度地滿足工藝要求。一般情況下，隧道內(nèi)的兩側(cè)是高潔凈度的層流工作區(qū)，中間是亂流的操作活動區(qū)。工藝區(qū)連成一條線，使用方便，人員的活動也不會引起交叉污染。
(2)由于在隧道內(nèi)減少了層流面積，基建費用和運行費用要比全室凈化的垂直層流潔凈室節(jié)約三分之一以上。亂流活動操作區(qū)的凈高較層流工藝區(qū)高得多，能滿足人員舒適感的要求。
(3)技術(shù)夾道既可作為回風(fēng)道，又可布置各種工業(yè)管道，安裝工藝輔助設(shè)備。組成潔凈隧道的局部凈化設(shè)備(潔凈工作臺、潔凈棚和層流罩等)、工業(yè)管道以及工藝輔助設(shè)備的維修均可在技術(shù)夾道內(nèi)進(jìn)行。由于技術(shù)夾道相對于潔凈隧道為負(fù)壓，因此，維修工作不會引起潔凈隧道的污染，維修工作可在不停止工藝生產(chǎn)的情況下進(jìn)行。
潔凈隧道所需的局部凈化設(shè)備、頂棚、壁板、回風(fēng)口及門窗等構(gòu)件，可以標(biāo)準(zhǔn)化、模數(shù)化，由專業(yè)工廠加工生產(chǎn)，在現(xiàn)場組裝。同時，潔凈隧道可以迅速拆裝，重新組合，為工藝變化提供了方便。
(4)潔凈隧道可以按一定規(guī)模配置凈化空調(diào)系統(tǒng)，因此空調(diào)系統(tǒng)可通用化、系列化，從而可以大大縮短設(shè)計周期。
(5)一般情況下，潔凈隧道對于建筑方面的要求比較簡單，只要具備亂流潔凈室的環(huán)境，即可滿足要求。
